Mae generadur stêm pur yn offer sy'n defnyddio dŵr i'w chwistrellu neu ddŵr wedi'i buro i gynhyrchu stêm pur. Y prif ran yw tanc dŵr puro gwastad. Mae'r tanc yn gwresogi'r dŵr wedi'i ddad-ïoneiddio â stêm o'r boeler i gynhyrchu stêm purdeb uchel. Mae preheater a evaporator y tanc yn mabwysiadu'r tiwb dur di-staen dwys di-dor. Yn ogystal, gellir cael stêm purdeb uchel gyda gwahanol backpressures a chyfraddau llif trwy addasu'r falf allfa. Mae'r generadur yn berthnasol i sterileiddio a gall atal llygredd eilaidd yn effeithiol o ganlyniad i fetel trwm, ffynhonnell wres a thomenni amhuredd eraill.